SCREENの仕事内容を知る
半導体洗浄装置の3方式すべてで世界首位。洗浄のプロフェッショナルが何をしているかを解説。
プロジェクト事例で理解する
EUV世代向け次世代枚葉式洗浄装置の開発
EUVリソグラフィ導入後の洗浄工程数増加に対応する次世代枚葉式洗浄装置を開発。微粒子除去性能を向上しつつ、薬液使用量を削減する環境対応も求められる。
大規模ファブへの一括納入プロジェクト
新設される先端半導体工場に洗浄装置を数十台単位で一括納入。据付・立ち上げ・プロセス調整をスケジュール通りに完了させる大型プロジェクト。
事業領域の詳細
半導体製造装置事業（SPE）
TSMC・Samsung・Intel・SK hynix等SCREENの主力事業。枚葉式・バッチ式・スピンスクラバーの3方式すべてで世界首位。売上の87%を占める。
- 枚葉式洗浄装置：世界シェア42%（首位）
- バッチ式洗浄装置：世界シェア首位
- 微細化→洗浄回数増→SCREEN需要増の好循環
- コータ/デベロッパ（半導体向け）も手がける
グラフィックアーツ機器事業（GA）
印刷会社SCREENの祖業。印刷製版用CTPやインクジェット印刷機器を展開。売上比率は5%程度まで縮小したが、印刷技術で培った微細パターン技術が半導体事業の原点。
- デジタル印刷へのシフトに対応中
- 今後はさらに縮小の可能性
ディスプレイ製造装置/成膜装置事業
FPDメーカーフラットパネルディスプレイ向けのコータ/デベロッパや、半導体・ディスプレイ向け成膜装置を展開。有機EL関連で成長。
- 売上比率は8%程度
- 半導体事業との技術シナジーあり
ひよぺん対話
「半導体を洗う」って、洗剤で洗うの？
実はその通り！ 超純水（不純物をほぼゼロにした水）と薬液（フッ酸やアンモニア系）を使って洗う。ただし「キレイに洗う」のレベルが一般の洗浄と桁違いで、ナノメートル単位の微粒子まで除去する。しかもウェーハの回路パターンを壊さずに。この精密さが技術の核だよ。
洗浄装置って半導体工場にどのくらい入ってるの？
先端ファブだと全工程の30〜40%が洗浄工程。1つの工場に洗浄装置が数十台〜百台以上入ることもある。しかも微細化が進むほど洗浄回数が増える。つまり「半導体が進化する＝SCREENの装置が売れる」という構造。TELのコータ/デベロッパと並ぶ、半導体工場の「絶対に必要な装置」だよ。
TELとかぶる部分はないの？
TELも洗浄装置を手がけてるから一部競合する。ただしSCREENが圧倒的にシェアが高いのは事実。TELの強みはコータ/デベロッパとエッチングで、洗浄はSCREENが王者。住み分けが成立しているともいえるね。
勤務地は京都？開発はどこでやるの？
HD（持株会社）の本社は京都だけど、半導体装置事業の開発・製造拠点は彦根（滋賀）が中心。京都の洛西にも拠点がある。エンジニアの多くは彦根勤務。大阪・京都から通勤圏内だから、関西で働きたい人には良い選択肢だよ。東京にも営業拠点があるけど少数。